国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司请求一项名为“晶圆转速检测设备及晶圆整理洗刷设备”的专利，公开号CN121347842A，请求日期为2025年10月。
专利摘要显现，本请求触及一种晶圆转速检测设备及晶圆整理洗刷设备，其包含：支撑组件、位移补偿组织、测速传感器以及测速轮；支撑组件包含支撑轴以及支撑座，支撑座具有装置孔，支撑轴支撑在支撑座上，且装置孔的孔口朝向支撑轴；位移补偿组织置于支撑座的装置孔中，用于对支撑轴发生向上的补偿力，补偿力包含弹力以及气浮力；测速轮滚动设置在支撑轴上，用于与晶圆触摸以被晶圆带动而旋转；测速传感器设于支撑座上，用于检测测速轮的转速。本请求，可以对支撑轴进行向上支撑力的补偿，保证测速轮与晶圆坚持触摸，防止无法检测晶圆转速。
天眼查资料显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司，成立于2020年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。经过天眼查大数据分析，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司参与招投标项目79次，产业线条，此外企业还具有行政许可211个。
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